英特尔:采用超紫外线刻蚀技术

    荷兰设备制造商ASML声称,英特尔公司已经通知平板印刷设备提供商,英特尔将不再购买下一代平板印刷工具。

    芯片制造巨头将不会购买所谓的157纳米平板印刷工具,而是希望能延长目前的193纳米技术的使用寿命,直到能够直接超紫外线(Extreme Ultra-Violet,EUV) 刻蚀技术。

    EUV设备生产出的电子电路比157纳米工具更精细,目前该技术还处于研发阶段。ASML Holding是全球芯片蚀刻工具制造商的领头羊,也是英特尔公司的设备提供商。ASML声称英特尔已经告知了这个决定。对此英特尔还没有作出评论。ASML希望除了英特尔公司之外还有别的公司将购买153纳米蚀刻设备。