标签：硅光刻工艺

中国造电子级多晶硅打破垄断 纯度要求达到99．999999999％的电子级多晶硅终于量产。记者6日从江苏鑫华半导体材料科技有限公司获悉，经过一系列严格验证、检测，近日一批集成电路用高纯度硅料出口韩国，同时也向国内部分晶圆加工厂批量供货。这标...

张 妮娜2018-06-08业界动态