日本开发出可穿戴式传感器：轻软胜于鸿毛

据日本媒体报道，一种轻软胜于鸿毛，能贴在肌肤上的可穿戴式传感器，由东京大学工学系研究科教授染谷隆夫等人开发成功。该传感器为薄膜状，单位面积的重量只有3g/m2。据称，重量只有普通纸张的1/27左右。而且，厚度也只有2μm。由于又轻又薄，可以减轻贴在皮肤上的不适感，因此染谷等人希望能将其用作可持续计测人体信息的医疗及健康用传感器。

在薄膜基板上集成有机TFT

医疗及健康用途的传感器及电子电路，迄今一直使用以硅(Si)为主的硬质电子材料制作。但对于直接接触人体肌肤的部分等，使用轻柔材料以消除装上异物感的部件备受期待。

于是，染谷等人确立了在厚度仅1.2μm的塑料薄膜基板上制作用来读取传感器信号的TFT阵列的技术，开发出了与该TFT阵列和压力传感器元件相结合的薄膜压力传感器。为了在耐热性较低的薄膜基板上直接形成TFT阵列，TFT采用了有机半导体，并将制造工艺温度控制在了100℃以下。有机半导体层及电极层是采用基于蒸镀罩(Shadow Mask)的真空蒸镀法形成的。