杨锦 发表于:13年08月06日 13:16 [综述] DOIT.com.cn
直接使用表面粗糙的基板
2010年,染谷等人制作出了厚25μm的有机TFT阵列薄膜。此次将厚度减小到了1/10以下。为了实现薄型化,染谷等人直接在表面粗糙且凹凸不平的超薄薄膜基板上实现了以高成品率制作TFT。一般需要在薄膜基板表面涂布很厚的平坦化膜,来减轻凹凸的影响。但是,平坦化膜会导致整个薄膜传感器变厚。
对去掉平坦化膜起到决定性作用的,是改进栅极绝缘膜的制造方法。栅极绝缘膜的厚度仅为数nm,所以最容易受到基板表面粗糙的影响。如果栅极绝缘膜的形成不充分,介电击穿就会导致TFT无法工作。染谷等人此次通过采用可以形成较厚栅极绝缘膜的方法,减轻了基板表面凹凸不平的影响。具体而言,通过采用阳极氧化法,在栅极电极表面形成了厚达19nm的氧化膜。
另外,此次的栅极绝缘膜采用由该氧化膜(无机绝缘膜)和厚2nm的有机绝缘膜组成的双层构造。通过在氧化膜表面形成有机绝缘膜,提高了在其上形成的有机半导体的配向性,从而确保了TFT的特性。
有望用来测量肌电、心电及体温等
此次开发的有机TFT阵列薄膜折至弯曲半径为5μm的程度也不会损坏。而且,据称将其浸入生理食盐水两周以上,也不会发生明显的电气特性劣化。并且已确认,将其伸缩233%,电气特性及机械特性仍不会降低。因此,可将其与传感器相组合,装在有弧度曲面上,用来读取温度及压力的变化。
染谷等人此次作为有机TFT阵列薄膜的应用示例,开发了薄膜压力传感器。对传感器使用了施加压力时电阻会发生变化的材料,用TFT来读取电阻的变化。今后通过多种传感器元件与有机TFT阵列的结合,“还有望用作能够计测肌电、心电、体温、心律、血压等人体信息的医疗及健康用传感器”。
此次的薄膜压力传感器采用了外置电源单元。染谷等人已于2011年开发出了厚2μm的有机太阳能电池,设想将其结合起来以供给电力。